無塵車間究竟有什么用途?
無塵車間最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵車間。
無塵車間有什么標準?
無塵車間可以分為以下幾個級別:1級、百級、千級、萬級、十萬級、30萬級、百萬級。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業(yè)內俗稱級別中的千級。
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